Bơm hút chân không cho máy phủ model 2XZ-2 được thiết kế đặc biệt để đáp ứng yêu cầu vận hành ổn định, liên tục và chịu tải cao trong các hệ thống phủ chân không như PVD, CVD, mạ chân không hoặc buồng ion hóa. Một trong những yếu tố quan trọng nhất tạo nên độ bền và hiệu suất của bơm chính là kết cấu trục quay. Trục quay bền bỉ của bơm 2XZ-2 góp phần đảm bảo quá trình hút ổn định, vận hành êm ái và kéo dài tuổi thọ thiết bị trong môi trường làm việc đòi hỏi cao.
Trục quay của model 2XZ-2 thường được làm bằng thép hợp kim có độ cứng cao, chịu được mài mòn, chống biến dạng tốt khi vận hành lâu dài. Đây là yếu tố quan trọng giúp trục không bị cong, vênh khi hoạt động dưới tải lớn hoặc tốc độ quay cao.
Vật liệu thép hợp kim được xử lý nhiệt và chống oxy hóa giúp trục quay không bị xuống cấp khi làm việc trong môi trường có hơi dầu, hơi kim loại từ buồng phủ hoặc nhiệt độ tăng cao.
Độ đồng tâm giữa trục – rotor – ổ trục được gia công với sai số cực nhỏ, giúp trục quay mượt, giảm rung lắc và hạn chế ma sát. Điều này đặc biệt quan trọng đối với máy phủ chân không vốn yêu cầu độ ổn định cao.
Bề mặt trục được mài chính xác, đảm bảo độ nhẵn cao, giúp giảm ma sát và nâng tuổi thọ ổ trục, đồng thời giảm sinh nhiệt khi vận hành liên tục.
Bơm 2XZ-2 sử dụng ổ bi chất lượng cao, có khả năng chịu nhiệt và chịu lực để bảo vệ trục trong quá trình quay với tốc độ cao.
Nhờ đó, trục không bị rơ, lệch và duy trì độ êm trong nhiều giờ vận hành.
Dầu chân không bao phủ các bộ phận chuyển động giúp:
Giảm ma sát
Bảo vệ trục khỏi ăn mòn
Hỗ trợ tản nhiệt
Điều này giúp trục quay của bơm đặc biệt phù hợp cho các hệ thống phủ đòi hỏi máy chạy liên tục.
Khi khởi động hệ thống phủ, bơm phải hút nhanh từ áp suất khí quyển xuống áp suất trung bình. Trục quay mạnh mẽ giúp rotor đạt tốc độ ổn định nhanh, hỗ trợ hút thô hiệu quả.
Hệ thống phủ thường phải vận hành hàng giờ liền. Trục quay 2XZ-2 đáp ứng tốt điều kiện này nhờ:
Độ cứng vững cao
Hệ thống làm mát bằng quạt gió
Dầu bôi trơn ổn định
Điều này giảm nguy cơ biến dạng hoặc hỏng ổ trục.
Rung động lớn có thể ảnh hưởng đến lớp phủ và thiết bị phía trên.
Trục quay 2XZ-2 quay êm nhờ:
Độ đồng tâm tốt
Ổ bi chất lượng cao
Dầu bôi trơn hiệu quả
Trong các phòng máy phủ, tiếng ồn thấp là ưu tiên.
Trục quay ổn định là yếu tố giúp bơm giảm tiếng ồn đáng kể.
Nhờ lớp dầu bảo vệ, trục ít bị ăn mòn dù buồng phủ thường sinh ra bụi kim loại hoặc hơi nóng.
Máy phủ thường vận hành theo chu kỳ. Trục quay 2XZ-2 được thiết kế để chịu được quá trình khởi động – tắt máy lặp đi lặp lại mà không bị mòn nhanh.
Kết cấu trục quay bền bỉ của Bơm hút chân không cho máy phủ model 2XZ-2 là yếu tố quan trọng quyết định độ ổn định và tuổi thọ của toàn bộ hệ thống. Nhờ vật liệu thép hợp kim chất lượng cao, gia công chính xác, ổ trục bền và hệ thống dầu bôi trơn hiệu quả, trục quay của 2XZ-2 có khả năng vận hành liên tục, chịu tải lớn và giảm rung ồn tối ưu. Đây là lý do bơm 2XZ-2 được sử dụng rộng rãi trong các dây chuyền phủ chân không cần độ tin cậy cao và hiệu suất ổn định.
Bơm hút chân không 2XZ-2 được sử dụng rộng rãi trong các hệ thống máy phủ chân không như PVD, sputtering và bay hơi nhiệt. Khi làm việc trong môi trường có hơi kim loại và dung môi, bơm dễ gặp phải một số sự cố nếu không được bảo trì đúng cách. Dưới đây là các lỗi phổ biến và cách khắc phục hiệu quả.
Dầu chân không bị bẩn hoặc nhiễm hơi dung môi
Mức dầu quá thấp hoặc dầu đã xuống cấp
Cánh gạt bị mòn, không còn kín
Van hút hoặc van xả bị rò
Gioăng hoặc đường ống bị hở
Buồng phủ có rò rỉ khiến bơm làm việc liên tục
Thay dầu chân không mới đúng chuẩn
Kiểm tra và bổ sung mức dầu theo vạch
Kiểm tra cánh gạt, thay khi đã mòn
Kiểm tra và siết lại các đầu nối, phớt
Kiểm tra độ kín buồng phủ bằng test xà phòng hoặc leak-test chuyên dụng
Thiếu dầu bôi trơn
Dầu bẩn làm giảm khả năng tản nhiệt
Bơm phải làm việc quá tải do rò rỉ lớn
Quạt motor hoặc khe tản nhiệt bị bám bụi
Ma sát lớn do khô dầu hoặc cánh gạt bị kẹt
Thay dầu mới và vệ sinh buồng dầu
Làm sạch quạt gió, khe tản nhiệt
Khắc phục rò rỉ trong hệ thống phủ
Kiểm tra cánh gạt và thay khi cần
Đảm bảo khu vực đặt bơm thông thoáng
Cánh gạt mòn hoặc nứt
Ổ bi trục rotor bị hỏng
Mức dầu quá thấp
Vật lạ lọt vào buồng nén
Bơm đặt lệch, chân máy lỏng
Thay cánh gạt nếu phát hiện hư hỏng
Thay ổ bi mới
Vệ sinh buồng nén, loại bỏ cặn kim loại hoặc bụi
Bổ sung dầu và kiểm tra đường dầu
Đặt bơm trên mặt phẳng và siết lại chân đế
Dầu không đủ hoặc dầu bị nhiễm bẩn
Hơi kim loại từ buồng phủ hòa lẫn vào dầu
Rò rỉ khí nhiều hơn công suất hút của bơm
Lọc tách dầu bị tắc
Van xả kẹt do dầu bẩn
Thay toàn bộ dầu
Vệ sinh hoặc thay lọc tách dầu
Kiểm tra buồng phủ bằng leak-test
Vệ sinh van xả
Giảm nhiệt độ môi trường làm việc của bơm
Lọc tách dầu bị tắc hoặc hỏng
Dầu quá nhiều hoặc quá loãng
Dầu bị nhiễm dung môi khi phủ
Bơm chịu nhiệt độ môi trường quá cao
Thay lọc tách dầu
Điều chỉnh mức dầu theo vạch quy định
Thay dầu đúng chủng loại và đúng độ nhớt
Lắp thêm đường ống dẫn hơi hoặc bộ tách hơi dầu
Dầu bị khô, keo hóa
Cánh gạt gãy hoặc kẹt trong rãnh
Cặn kim loại bám trong buồng nén
Ổ bi trục rotor bị bó
Tháo bơm và vệ sinh toàn bộ buồng nén
Chạy rửa bằng dầu loãng chuyên dụng
Thay cánh gạt hoặc ổ bi nếu hỏng
Loại bỏ cặn bám và kiểm tra khe hở rotor
Sử dụng bẫy lạnh để ngăn hơi kim loại đi vào bơm
Thay dầu định kỳ theo số giờ vận hành
Giữ phòng đặt bơm sạch và thoáng khí
Không vận hành bơm khi mức dầu thấp
Vệ sinh lọc tách dầu thường xuyên
Kiểm tra độ kín của buồng phủ định kỳ
Bơm hút chân không model 2XZ-2 trong máy phủ thường gặp các lỗi như không đạt chân không, nóng máy, ồn lớn, hút chậm hoặc kẹt cánh gạt. Phần lớn nguyên nhân đến từ dầu, rò rỉ khí và hao mòn tự nhiên nên việc thay dầu đúng định kỳ, kiểm tra cánh gạt và đảm bảo độ kín buồng phủ sẽ giúp bơm vận hành ổn định và bền lâu.


https://vietnhat.company/may-bom-chan-khong-canh-quay-dan-dong-truc-tiep-dong-2xz2.html
Bơm hút chân không cho máy phủ model 2XZ-2
Liên hệ